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열 필라멘트 법을 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 공정 중 발생하는 전하를 띈 실리콘 나노입자 : Charged silicon nano particles produced during Low Temperature Poly-Si (LTPS) thin film processes using Hot Wire CVD
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- Authors
- Advisor
- 김도연
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 다결정 실리콘 ; Poly-Si ; 전하를 띈 클러스터 모델 ; Theory of charged cluster ; 열 필라멘트 화학 기상 증착 ; How Wire Chemical Vapor Deposition Silicon nano particles ; 실리콘 나노입자
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2006.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000049246
https://hdl.handle.net/10371/15027
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