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(A) study on the utilization of surface treatment for anisotropic wrinkle patterning and align stiction in imprint lithography process : 표면처리 효과를 이용한 자기조립형 대면적 미세패턴 형성과 임프린트 공정에서의 정렬마찰 저감에 대한 연구
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- Authors
- Advisor
- 이우일
- Major
- 기계항공공학부
- Issue Date
- 2011-02
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 표면처리 ; 플라즈마 ; 액정폴리머 ; 이방성 주름 ; 임프린트 리소그래피 ; 정렬공정 ; 표면장력. ; Surface treatment ; Plasma ; Anisotropy ; Liquid Crystalline Polymer (LCP) ; Wrinkle ; Imprint lithography ; Surface tension ; Stiction ; Capillary adhesion.
- Description
- 학위논문 (박사)-- 서울대학교 대학원 : 기계항공공학부, 2011.2. 이우일.
- Language
- eng
- URI
- https://hdl.handle.net/10371/158503
http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000028980
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