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College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)
Dept. of Mechanical Aerospace Engineering (기계항공공학부)
Theses (Ph.D. / Sc.D._기계항공공학부)
(A) study on the utilization of surface treatment for anisotropic wrinkle patterning and align stiction in imprint lithography process
표면처리 효과를 이용한 자기조립형 대면적 미세패턴 형성과 임프린트 공정에서의 정렬마찰 저감에 대한 연구
- Authors
- 강석환
- Advisor
- 이우일
- Major
- 기계항공공학부
- Issue Date
- 2011-02
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 표면처리; 플라즈마; 액정폴리머; 이방성 주름; 임프린트 리소그래피; 정렬공정; 표면장력.; Surface treatment; Plasma; Anisotropy; Liquid Crystalline Polymer (LCP); Wrinkle; Imprint lithography; Surface tension; Stiction; Capillary adhesion.
- Description
- 학위논문 (박사)-- 서울대학교 대학원 : 기계항공공학부, 2011.2. 이우일.
- Language
- eng
- URI
- http://hdl.handle.net/10371/158503
http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000028980
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