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The nanostructure and the tribological properties of Mo₂N-Cu nanocomposite films deposited by inductively coupled plasma assisted sputtering : 유도결합 플라즈마를 적용하여 반응성기상증착법으로 증착한 Mo2N-Cu 나노 복합물 박막의 나노구조와 마찰특성 연구
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- Authors
- Advisor
- 이정중
- Major
- 재료공학부
- Issue Date
- 2011-02
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 나노복합물 ; 유도결합플라즈마 ; 몰리브데늄 구리 질화물 ; 마찰특성 ; 에너지 입사 ; 축전기 삽입 ; nanocomposite ; Inductively Coupled Plasma (ICP) ; molybdemum nitride copper ; energy flux ; capacitance termination ; tribology
- Description
- 학위논문 (박사)-- 서울대학교 대학원 : 재료공학부, 2011.2. 이정중.
- Language
- eng
- URI
- https://hdl.handle.net/10371/158975
http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000028935
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