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(The) characteristics and reliability of short channel a-Si:H TFT and SPC-Si TFT under bias temperature stress : Short channel 비정질 실리콘 TFT 및 SPC 실리콘 TFT의 특성 및 신뢰성 연구
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- Authors
- Advisor
- 한민구
- Major
- 전기· 컴퓨터공학부
- Issue Date
- 2011-02
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 수소화된 비정질 실리콘 박막소자 ; 짧은 채널 비정질 실리콘 박막소자 ; 전기적 신뢰성 ; 광 열화 안정성 ; 고형결정화 실리콘 박막소자 ; 누설전류 ; hydrogenated amorphous silicon thin film transistor ; a-Si:H TFT ; short channel a-Si:H TFT ; electrical stability ; light induced stability ; solid phase crystallization silicon thin film transistor ; SPC-Si TFT ; leakage current
- Description
- 학위논문 (박사)-- 서울대학교 대학원 : 전기· 컴퓨터공학부, 2011.2. 한민구.
- Language
- eng
- URI
- https://hdl.handle.net/10371/159069
http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000029037
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