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실리콘 웨이퍼 기판 위 잘 정렬된 박막 양극산화 알루미늄의 제조 : Fabrication of thin and well ordered nanoporous alumina on Si wafer
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- Authors
- Advisor
- 신규순
- Major
- 화학생물공학부
- Issue Date
- 2011-02
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 박막 양극산화알루미늄 ; 고분자 나노임프린트 리소그래피 ; 건식식각 ; 양극산화 ; 베리어레이어 제거 ; 금속 나노선 ; thin anodic aluminum oxide ; polymer nanoimprint lithography ; barrier layer removal ; dry etching ; anodization ; electroplating
- Description
- 학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 화학생물공학부, 2011.2. 신규순.
- Language
- kor
- URI
- https://hdl.handle.net/10371/160226
http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000030025
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