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레이저 유기 형광법을 이용한 플라즈마 내의 밀도 및 전계 측정에 관한 연구 : A Study on the measurement of the radical density and the electric field in plasma using the laser-induced fluorescence
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- Authors
- Advisor
- 황기웅
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- laser induced fluorescence spectroscopy ; 레이저 유기 형광법 ; high selective SiO₂ etching ; 고선택비 산화막 식각 ; helicon plasma ; 헬리콘 플라즈마 ; AC plasma display panel ; 교류형 플라즈마 표시기 ; wall voltage ; 벽전압
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000063490
https://hdl.handle.net/10371/30752
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