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단결정 실리콘 미러판과 알루미늄 스프링을 사용한 초소형 전자력 구동 광 변조기에 관한 연구 : A Study on electromagnetic mirromirror with single crystal silicon mirror plate and aluminum spring
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- Authors
- Advisor
- 김용권
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 마이크로 미러 ; MOXC ; 전자력 구동 ; optical MEMS ; 표면 미세가공기술 ; mirromirror ; 몸통 미세가공기술 ; electromagnetic actuation ; surface micromachining ; bulk micromachining
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000066394
https://hdl.handle.net/10371/30776
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