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고정밀 거동 제어를 위한 자기 부상 스테이지에 관한 연구 : A Study on the magnetic levitation stage for high precision motion control
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- Authors
- Advisor
- 한동철
- Issue Date
- 2000
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 자기 베어링 ; magnetic bearing ; 고정밀 ; high precision ; 직선 이송 스테이지 ; linear motion stage ; 정전 용량형 센서 ; capacitive sensor ; LQG 서보 제어 ; LQG servo control
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :기계설계학과,2000.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000068973
https://hdl.handle.net/10371/31821
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