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Molecular dynamics studies on deformation of polymer resist in thermal nano imprint lithotraphy : 분자동역학을 이용한 나노 임프린트 리소그래피에서 폴리머 레지스트의 변형에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 이우일
- Issue Date
- 2008
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 분자동역학 ; molecular dynamics simulation (MDS) ; 나노 임프린트 리소그래피 ; nano imprint lithography (NIL) ; 나노스케일 ; nanoscale ; 패터닝 ; patterning ; 밀도 ; polymer resist ; 변형 ; density ; deformation
- Description
- Thesis(doctors) --서울대학교 대학원 :기계항공공학부, 2008.2.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000039506
https://hdl.handle.net/10371/43663
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