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MEMS-Based micro turbine spiral groove gas bearing development : MEMS 기술을 이용한 마이크로 터빈용 나선형 그루브 가스 베어링 개발
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- Authors
- Advisor
- 송성진
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 마이크로 터빈 ; Micro turbine ; 마이크로 파워 시스템 ; Micro power system ; 나선형 그루브 가스 베어링 ; Spiral groove gas bearing ; 고형상비 ; High aspect ratio ; DRIE 공정 ; DRIE ; 금속 건식 식각법 ; Dry metal etching method
- Description
- Thesis(master`s) --서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2006.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000049258
https://hdl.handle.net/10371/43725
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