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초정밀 위치결정용 마이크로 병렬기구 플랫폼의 설계와 해석 : Design and analysis of a micro parallel mechanism platform for ultra-precision positioning
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- Authors
- Advisor
- 김종원
- Issue Date
- 2004
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 마이크로 병렬기구 ; Micro parallel mechanism ; 초정밀 위치결정 ; Ultra-positioning ; 이중 스테이지 시스템 ; Dual stage system ; 기구학 해석 ; Kinematic analysis ; 오차해석 ; Error analysis ; Optimal design
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2004.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000054688
https://hdl.handle.net/10371/44596
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