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순차적인 사슬형태의 SVDD분류기를 이용한 반도체 공정 이상 진단
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- Authors
- Advisor
- 최진영
- Issue Date
- 2008
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 공정이상 검출 ; Fault detection ; 패턴 인식 ; pattern recognition ; 단일 클래스 문제 ; one class classifier ; SVDD ; support vector data description
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2008.2
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041284
https://hdl.handle.net/10371/45133
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