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College of Agriculture and Life Sciences (농업생명과학대학)
Dept. of Applied Biology and Chemistry (응용생물화학부)
Theses (Ph.D. / Sc.D._응용생물화학부)
Dielectric and optical properties of nanoporous organosilicate thin films
나노기공을 함유한 유기 실리케이트 박막의 유전 및 광학 특성에 관한 연구
- Authors
- 김수한
- Advisor
- 차국헌
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 나노기공 ; Low-k ; 유기실리케이트 ; Plasma treatement ; 저유전 물질 ; Methylsilsesquioxane ; 반사방지막 ; Nanopores ; 나노인덴터 ; Depth-sensing indentation ; 소각중성자산란 ; Antireflective coating
- Description
- 학위논문(박사) --서울대학교 대학원 :응용화학부,2007.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000044802
https://hdl.handle.net/10371/45301
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