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DRIE 공정에서의 Scallop 현상과 Eutectic 기판 접합을 이용한 MEMS 가속도계
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김용협 | - |
| dc.contributor.author | 전윤광 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-27T15:24:56Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-27T15:24:56Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057400 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/45743 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2003. | ko |
| dc.format.extent | v, 59 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 몸체미세가공기술 | ko |
| dc.subject | MEMS | ko |
| dc.subject | 차분정전용량형 | ko |
| dc.subject | DRIE | ko |
| dc.subject | 정전력 구동기 | ko |
| dc.subject | Differential capacitive | ko |
| dc.subject | 가속도계 | ko |
| dc.subject | Accelerometer | ko |
| dc.title | DRIE 공정에서의 Scallop 현상과 Eutectic 기판 접합을 이용한 MEMS 가속도계 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 기계항공공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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