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DRIE 공정에서의 Scallop 현상과 Eutectic 기판 접합을 이용한 MEMS 가속도계
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- Authors
- Advisor
- 김용협
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 몸체미세가공기술 ; MEMS ; 차분정전용량형 ; DRIE ; 정전력 구동기 ; Differential capacitive ; 가속도계 ; Accelerometer
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057400
https://hdl.handle.net/10371/45743
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