Publications
Detailed Information
컴퓨터 비젼을 이용한 웨이퍼 표면 결함 검사 기술의 개발
Cited 0 time in
Web of Science
Cited 0 time in Scopus
- Authors
- Advisor
- 박희재
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 웨이퍼 표면 결함 ; Wafer Defects ; 캐드 기반 검사 ; CAD Based Inspection ; 자동 검사 계획 ; Automated Inspection Planning ; 최적 검사 경로 ; Computer Vision ; 컴퓨터 비젼 ; Edge Detection ; 경계 추출 ; Region Identification ; 영역 식별
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057220
https://hdl.handle.net/10371/45754
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.