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Multiple Gate SONOS Flash Memory Devices for High Density Memory : 고집적 메모리 개발을 위한 다중 게이트 SONOS 플래시 메모리 소자에 대한 연구
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- Authors
- Advisor
- 이종덕
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 비휘발성 메모리 ; nonvolatile memory ; 플래시메모리 ; flash memory ; 이중게이트 FinFET ; double gate finFET ; 실리콘-산화막-질화막-산화막-실리콘(SONOS) ; silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (SONOS) ; 짧은 채널 효과 ; short channel effect ; chemical mechanical polishing (CMP) ; chemical mechanical polishing (CMP) ; Fowler-Nordheim tunneling ; Fowler-Nordheim tunneling. Scaling down technology ; 스케일링 다운 ; NAND flash ; NAND 플래시 메모리
- Description
- 학위논문(박사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2007.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000043006
https://hdl.handle.net/10371/48505
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