Publications
Detailed Information
실리콘·유리 접합기판을 이용한 단결정 실리콘 빗모양 액추에이터의 노칭 및 에칭홀 제거 공정과 응용에 관한 연구 : (A)Study on developments and applications of novel notch-free and etch-hole-free processes on SiOG substrate for single crystak silicon comb actuator
Cited 0 time in
Web of Science
Cited 0 time in Scopus
- Authors
- Advisor
- 김용권
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- SiOG ; Silicon on glass(siog) ; 고형상비 ; High-aspect-ratio ; 단결정 실리콘 빗모양 액추에이터 ; Single crystal silicon comb actuator ; 노칭 현상 ; Notching phenomenon ; 자동정렬 ; Self-aligning ; 금속막 중간층 ; Metal interlayer ; 가변 광 감쇠기 ; Variable optical attenuator(voa) ; 에칭홀 ; Ucarp ; 미세 유체 채널 ; Scanning mirror ; uCARP ; Spm ; 스캐닝 미러 ; Platform actuator ; SPM ; Xy stage ; 플랫폼 액추에이터 ; XY 스테이지
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000059858
https://hdl.handle.net/10371/48869
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.