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플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 (Ti₁-xAlx)N 박막의 미세조직 및 기계적 특성에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 이정중
- Issue Date
- 1998
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,1998.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000075523
https://hdl.handle.net/10371/52288
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