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열 필라멘트 화학기상증착을 통한 다결정 실리콘 박막의 증착에서 바이어스와 압력이 증착거동에 미치는 영향 : Effect of electric bias and pressure on the deposition behavior of microcrystalline films by hot-wire chemical vapor deposition
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- Authors
- Advisor
- 황농문
- Issue Date
- 2010
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 다결정 실리콘 박막 ; Poly-Si ; 하전된 나노 입자 이론 ; Theory of charged cluster ; 열 필라멘트 화학 기상 증착 ; Hot wire chemical vapor deposition ; 실리콘 나노 클러스터 ; Silicon nano particles
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2010.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000033309
https://hdl.handle.net/10371/64788
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