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열 나노 임프린트 공정에서 유동과 몰드 사이의 2 way 연성 해석을 통한 Stress 해석 : (The) Research on The Analysis of Stress Applying on The Mold for Thermal Nano Imprint Lithography Using 2 way Fluid-Structure Inter action FEM Analysis
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 신효철 | - |
| dc.contributor.author | 한혁재 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-05-10T03:47:18Z | - |
| dc.date.available | 2010-05-10T03:47:18Z | - |
| dc.date.copyright | 2010 | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000033393 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/64831 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2010.2. | ko |
| dc.format.extent | vi, 43장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 열 나노 임프린트 리소그래피 | ko |
| dc.subject | Thermal NIL | ko |
| dc.subject | mold | ko |
| dc.subject | mold | ko |
| dc.subject | 2way 연성 유한요소 해석 | ko |
| dc.subject | 2way fluid-structure interaction FEM analysis | ko |
| dc.subject | Stress | ko |
| dc.subject | Stress | ko |
| dc.subject | 압력 구배 | ko |
| dc.subject | pressure grade | ko |
| dc.title | 열 나노 임프린트 공정에서 유동과 몰드 사이의 2 way 연성 해석을 통한 Stress 해석 | ko |
| dc.title.alternative | (The) Research on The Analysis of Stress Applying on The Mold for Thermal Nano Imprint Lithography Using 2 way Fluid-Structure Inter action FEM Analysis | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 기계항공공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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