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2003
ALD로 증착한 HfO₂ stack의 성장거동과 전기적 특성에 대한 연구
조문주
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2005
ALD(Atomic Layer Deposition) 증착법을 이용한 Bi2(Ti2-xSix)O7-y 유전박막의 증착 거동 및 물성 평가에 관한 연구
김완돈
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2006
단원자층 증착법(ALD)을 이용한 PbTiO3 박막의 증착과 특성평가
황규원
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2006
단원자 증착법(ALD)으로 증착한 HfO₂박막의 구조적 전기적 특성 연구
서민하
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2008
단원자 증착법(ALD)으로 증착한 Ru 박막을 이용한 박막형 다층 세라믹 캐패시터(MLCC)의 제조 및 특성 연구
이상영
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2009
DRAM에 응용되는 이산화티타늄을 기반으로 한 산화박막의 증착거동 및 유전특성 개선에 관한 연구
최규진
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2009
CMOS 소자의 게이트 산화막을 위한 Lanthanum Silicate막의 원자층 증착과 전기적 특성
최유진
link
2011-08
DRAM capacitor 전기적 특성 개선을 위한 적층 구조 전극 연구
한소라
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